透過電子顕微鏡(TEM)/走査型透過電子顕微鏡(STEM)
カソードルミネセンスSTEM、CFEG収差補正TEM/STEM

薄膜作成装置
スパッタ、蒸着

光学測定装置
Vis-NIR分光器、顕微分光器、蛍光顕微鏡、真空中温度可変分光器

表面測定装置
原子間力顕微鏡(AFM)、ポータブル走査型電子顕微鏡(SEM)、エリプソメータ

表面改質装置
プラズマクリーナ、UVオゾンクリーナ


その他共同研究先・共用施設で、原子間力顕微鏡(AFM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、振動型磁化測定器(VSM)などをよく使用します。


シミュレーション・ソフトウェア開発
電磁場計算(有限要素法(FEM)、Multiple Multipole Program(MMP)、境界要素法(BEM)、FDTD)、第一原理計算、各種自作ソフト(Matlab, C++, VB, Mathematica, Python, etc)

物質理工学院

三宮研究室

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